出版社: 机械工业出版社
出版年: 2009-7
页数: 467
定价: 108.00元
丛书: 国际制造业先进技术译丛
ISBN: 9787111267331
《微机电系统应用》是MEMS系列图书中的一本，主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。《微机电系统应用》主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生，也可供MEMS技术研究人员参考。
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