作者： 劳伦·特拉夫格
译者： 曹峥
丛书名： 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书
出版社：机械工业出版社*
ISBN：9787111591276
上架时间：2018-4-10
出版日期：2018 年4月
开本：16开 电子书
页码：133
版次：1-1
内容简介：本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。
纳机电系统
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